Die auf Halbleiterbauelementen basierende Erfassung chemischer und biologischer Einheiten wurde durch den Einsatz mikro- und nanoskaliger Feldeffektgeräte und ähnlicher Varianten demonstriert. Obwohl sich Kohlenstoff-Nanoröhren und Silizium-Nanodrähte als Einzelmolekül-Biosensoren erwiesen haben, sind die zur Herstellung dieser Geräte verwendeten Herstellungsmethoden in der Regel nicht mit modernen Halbleiterfertigungstechniken kompatibel und ihre Integration in großem Maßstab ist problematisch. Diese Mängel werden durch jüngste Fortschritte bei mikroelektronischen Herstellungstechniken behoben, die zur Realisierung nanodrahtartiger Strukturen führten. Hier berichten wir über eine Methode zur Herstellung von Silizium-Nanodrähten an präzisen Orten mithilfe solcher Techniken. Unsere Methode ermöglicht die Realisierung wirklich integrierter Sensoren, die in der Lage sind, dichte Arrays zu erzeugen.
Verwandte Zeitschriften für integrierte Nanogeräte
ACS Nano, Advanced Functional Materials, Journal of Physical Chemistry Letters, Biomaterials, Small, Nano Research
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